Open Tenderocds-tedeu-9087dffc-832f-4ab3-9595-3e32f8a4e5d8
FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
Für die Umsetzung aktueller Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wird eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern benötigt. Die Anlage soll hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglichen.
Buyer
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Value
Not provided
Published
14 Sept 2026
Closes
13 Oct 2026
Procurement details
Source
TED (EU)
Region
DE300
Procurement method
Selective
Category
Goods
Contract starts
10 Mar 2027
Contract ends
11 Mar 2028
CPV classifications
42990000
Miscellaneous special-purpose machinery
Lots
Lot LOT-0000 FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
Value not provided
1 Stück
Delivery: Berlin · DE300 · Germany
Documents
Unlock document linkTED notice 631404-2026
14 Sept 2026
Tender notice · Web page
Procurement documents
Not provided
Bidding documents
Contains public sector information licensed under the Open Government Licence v3.0.