Ultratyhjiössä toimiva ohutkalvodepositiojärjestelmä

HANKINNAN KOHDE Hankinnan kohde on erikoislaite ohutkalvorakenteiden kasvattamista varten. Laitetta käytetään tutkimukseen ja tuotekehitykseen ja se on suunniteltu mahdollistamaan erityisen puhtaiden ja kontrolloitujen rakenteiden valmistamisen ultratyhjiössä. Laite käyttää 200 mm kiekkokokoa. SUORAHANKINTA Sovellettava oikeusperusta: Hankintalaki (1397/2016) 40 § 2 mom. 5 kohta Hankinta toteutetaan suorahankintana julkisista hankinnoista ja käyttöoikeussopimuksista annetun lain (1397/2016) 40 §:n 2 momentin 5 kohd...