Positionierungssystem für experimentelle Mikromagnetisierungsprozesse

Mit mikrometergenauer Positionierung von magnetischen Schreibköpfen sollen gezielt permanentmagnetische Dünnfilmschichten magnetisiert werden können. Zweck des Positionierungssystems ist dabei die Erprobung eines Magnetisierungskonzepts. Die mikrometergenaue relative Positionierung eines magnetischen Schreibkopfs auf den zu magnetisierenden Substraten soll in einem Gesamtsystem über eine XYR-Stage (laterale Translation sowie Rotation des Substrats) sowie Z-Achse (vertikale Translation) erfolgen (siehe Systemübersic...