Gold-Sputter-Target

Am Institut für Quantentechnologie in Ulm, wird für die Abscheidung von Gold-Dünnschichten in einer Magnetron-Sputter-Anlagen, ein Gold-Sputter-Target benötigt. • Target Material und Reinheit: Gold (chem. Element Au), Reinheit mindestens 99,99 % • Target Dimensionen: Durchmesser 127 mm, Dicke: 3 mm. Rechnerisch benötigte Menge Gold: 732,81 g zuzüglich eventueller Verarbeitungsverluste. • Befestigung des Gold Targets auf einer Rückplatte aus Kupfer mittels Indium-Bonden, Ge-ometrie der Kupferplatte inklusive Bohrung...