Fornitura di strumentazione scientifica in 2 Lotti nell'ambito del Progetto IPCEI CUP B63C22002390006
PROCEDURA APERTA SOPRA SOGLIA COMUNITARIA PER L AFFIDAMENTO DELLA FORNITURA, INSTALLAZIONE E RESA OPERATIVA DI STRUMENTAZIONE SCIENTIFICA IN 2 LOTTI LOTTO 1 SISTEMA DI DEPOSIZIONE FISICA -SPUTTERING RF e DC -DI FILM SOTTILI DI DIELETTRICI, METALLI E NITRURI LOTTO 2 SISTEMA DI DEPOSIZIONE CHIMICA A STRATI ATOMICI CON DEPOSIZIONE PER VIA TERMICA E ASSISTITA DA PLASMA PE-ALD DI FILM SOTTILI DI DIELETTRICI, METALLI E NITRURI NELL AMBITO DEL PROGETTO IPCEI CUP B63C22002390006
Buyer
Consiglio Nazionale delle Ricerche - Istituto per la Microelettronica e Microsistemi Sede di Agrate Brianza
Value
€927,930
Published
24 Jul 2026
Closes
Not provided
Procurement details
Source
TED (EU)
Region
Italy
Procurement method
Open
Category
Goods
Contract starts
Not provided
Contract ends
Not provided
CPV classifications
38970000
Research, testing and scientific technical simulator
Lots
Lot LOT-0001 Lotto 1: Sistema di deposizione fisica (Sputtering RF e DC) di film sottili di dielettrici, metalli e nitruri
€425,000
Sistema di deposizione fisica (Sputtering RF e DC) di film sottili di dielettrici, metalli e nitruri
Lot LOT-0002 Lotto 2: Sistema di deposizione chimica a strati atomici con deposizione per via termica e assistita da plasma (PE-ALD) di film sottili di dielettrici, metalli...
€530,000
Sistema di deposizione chimica a strati atomici con deposizione per via termica e assistita da plasma (PE-ALD) di film sottili di dielettrici, metalli e nitruri
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24 Jul 2026
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