Fully automated tool CVD (IZM-136) - PR1246546-3460-P
Fully automated tool CVD (IZM-136)
Buyer
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Value
Not provided
Published
8 Oct 2026
Closes
Not provided
Procurement details
Source
TED (EU)
Region
DED2E
Procurement method
Limited
Category
Goods
Contract starts
5 Dec 2027
Contract ends
10 Dec 2027
CPV classifications
31712100
Microelectronic machinery and apparatus
Lots
Lot LOT-0000 Fully automated tool CVD (IZM-136) - PR1246546-3460-P
Value not provided
1x Fully automated tool CVD Die folgende Ausrüstungsspezifikation definiert einen vollautomatischen Cluster für die CVD-Abscheidung hochwertiger dielektrischer Schichten wie SiO₂ mit ausgezeichneter Liner-Konformität für extrem hohe Aspektverhältnisse, wie sie in TSV-Anwendungen zum Einsatz kommen, sowie mit vollständiger, porenfreier und nahtloser Füllung w...
Delivery: Dresden-Moritzburg · DED2E · Germany
Documents
Unlock document linkTED notice 692851-2026
8 Oct 2026
Award notice · Web page
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