Ex-ante-Bekanntmachung - Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478
Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478
Buyer
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Value
Not provided
Published
6 Oct 2026
Closes
Not provided
Procurement details
Source
TED (EU)
Region
DE300
Procurement method
Limited
Category
Goods
Contract starts
4 Oct 2026
Contract ends
4 Oct 2030
CPV classifications
42900000
Miscellaneous general and special-purpose machinery
31712330
Semiconductors
Lots
Lot LOT-0000 Ex-ante-Bekanntmachung - Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478
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Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478
Delivery: Berlin · DE300 · Germany
Documents
Unlock document linkTED notice 686058-2026
6 Oct 2026
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